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來源: | 發布日期:2022-08-01

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濺射工可重複性好,可以在大麵積基片上獲得厚度均勻的薄膜;能夠控製鍍層的厚度,同時可通過改變參數條件控製組成薄膜的顆粒大小;不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合,同時濺射於基材上;易於實現工業化。

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